| 工位编码 | 工位名称 | 配方参数数 | 最近采集时间 | 最近下发时间 | 操作 |
|---|
| 版本号 | 采集时间 | 参数数 | 操作 |
|---|
| 下发时间 | 操作人 | 目标工位 | 来源版本 | 来源工位 | 操作 |
|---|
| 工位编码 | 工位名称 | 配方参数数 | 最近采集时间 | 最近下发时间 | 操作 |
|---|
| 版本号 | 采集时间 | 参数数 | 操作 |
|---|
| 下发时间 | 操作人 | 目标工位 | 来源版本 | 来源工位 | 操作 |
|---|
| 参数名称 | 参数描述 | 单位 | 使用工位 | 操作 |
|---|
| 工位编码 | 工位名称 | 操作 |
|---|
| 参数名称 | 参数描述 | 单位 | 监听变量 * | 下发变量 * | 操作 |
|---|
| 选择 | 参数名称 | 参数描述 | 单位 |
|---|
| 参数名称 | 参数描述 | 实时值 | 单位 |
|---|
| 参数名称 | 参数描述 | 采集值 | 单位 |
|---|
| 版本号 | 来源工位 | 采集时间 | 参数数 |
|---|
| 参数名称 | 参数描述 | 下发值 | 单位 |
|---|
| 参数名称 | 参数描述 | 下发值 | 单位 |
|---|